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微管气体质量流量计
         
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应用领域
  微管气体质量流量计可测量空气/氧气/氮气/氩气/二氧化碳气等清洁气体的流量,主要应用于半导体、电子、化工、医药、食品等产品制造过程中气体流量的检测及控制,医院氧气消耗量计量、实验室气体流量的检测等,口径最小至1mm,螺纹连接。
工作原理
  MF5000微管气体质量流量计采用热质量气体流量传感芯片,属于质量流量传感方式的流量计,它是通过气体流动产生的热场变化来测量气体流量,由于不同质量的气体对热场的变化具有不同的影响,所以它所测的数据为质量流量。
  不同于传统的“热传感器”方式采用了多个热传感器和多个热源来测量气体的质量流量(风速式热质量流量原理),MF5000微管气体质量流量计采用了多个热传感器和一个微热源(量热式热质量流量原理),大大减少了环境对测量的影响。MF5000微管气体质量流量计的热源十分微小,几乎不需要时间进行加热。传感器插入在相对大的流场中,在无气体流动时,传感器的热源对环境无影响,不会因此引起气体对流而导致零点变化。所以,MF5000微管气体质量流量计具有极短的响应时间和优良的零点稳定性。
产品特点
  1、 采用微机电系统芯片作为传感器,流量计的灵敏度极高同时具有良好的零点稳定性;
  2、 单个芯片上实现多传感器集成,使该流量计的量程比大于100:1;
  3、 和传统的机械式流量计比较,压力损失大幅减小,极大的降低了能源消耗;
  4、 采用LCD显示瞬时流量和累积流量,清晰直观,读数方便;
  5、 本流量计带有RS-485通讯模块,配合上位计算机网络可实现集中管理;
  6、 可以选配4-20mA DC电流信号输出;
  7、 通过国家防爆认证,标志为ExiaIICT4。
技术指标

测量范围

 0.45-45Nm/s(流速)

精 确 度

 ±(1.5+0.15FS)%

环境温度

 -10-55℃

介质温度

 -20-65℃

湿    度

 ≤95%RH

显    示

 瞬时流量(0.000-999999.999)、累计流量(0.000-99999999.999)

通信方式

 RS485

输出信号

 4-20mA

供电电源

 8-24VDC

连    接

 NPT-F

校准条件

 氮气,20℃,101.325kPa;可根据用户要求进行实际介质标定

流量范围

通径
(mm)

接口
尺寸

工作压力
(MPa)

流量范围

备注

SCCM

SLPM

SCFM

NCMH

3.0

1/8〞

3.0

15-1500

0.15-15

 

 

 

6.0

1/4〞

3.0

 

0.5-50

0.02-2

0.035-3.5

 

8.0

3/8〞

3.0

 

1.2-120

0.045-4.5

0.075-7.5

 

12.0

1/2〞

3.0

 

3-300

0.1-10

0.17-17

 

19.0

3/4〞

3.0

 

10-1000

0.35-35

0.6-60

 

   备注:SCCM: 标毫升/分
      SLPM: 标升/分
      SCFM: 标立方英尺/分
      NCMH: 标方/小时
      标准状况(标况):20℃,101.325kPa。
 
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